一種自動(dòng)化多工位(wèi)矽片清洗工藝,采用水基溶液、混合溶劑或去離子水等(děng)清洗介質,利用超聲波、鼓泡、噴淋等清洗工藝,去除矽片表麵的汙染物,然後再通過在線加熱器將氮氣加熱後,從烘幹槽上部噴出對矽片進行幹燥處理。
工藝流程:上料→超聲波清洗→鼓泡清洗→噴淋清洗→氮氣烘幹→下料
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